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智能勻膠機(jī) SC-100

發(fā)布時(shí)間: 2021-04-08  點(diǎn)擊次數(shù): 559次

智能勻膠機(jī) 型號(hào):SC-100

主要于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。 
系統(tǒng)配置速變頻馬達(dá),變頻控制涂膠轉(zhuǎn)速、時(shí)間,使整個(gè)涂膠過(guò)程精確,穩(wěn)定。
主要技術(shù)指標(biāo)

 系統(tǒng)支持10個(gè)工藝組存儲(chǔ),每個(gè)工藝組可設(shè)置4段運(yùn)行速度及運(yùn)行時(shí)間
  勻膠速度:  0~8000rmp可調(diào)
  勻膠時(shí)間:  1~9999s任意時(shí)間可設(shè)置
  旋轉(zhuǎn)加速度:0~12000rpm/sec   由低速到速加速時(shí)間0.1s~0.5s
  轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp
  涂膠均勻性:±3%
  可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞)
  基片厚度:  ≤5mm
SC-100智能勻膠機(jī)

其 它 配 置設(shè)備配置Ф260mm接膠裝置(不銹鋼材質(zhì))
電機(jī)額定功率90W,額定轉(zhuǎn)速8000rmp
真空系統(tǒng):FY-1C真空泵一臺(tái),抽氣速率60L/min(標(biāo)配)
  AP-500V無(wú)油真空泵,抽氣速率100L/min(選配)
樣片托:隨機(jī)配1英寸一個(gè),2英寸一個(gè),其它規(guī)格尺寸按要求定做。
輸入電源: AC220V/240V  50HZ
機(jī)身尺寸: 280×360×240mm
機(jī)身重量:10Kg

 
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